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針對具高熱負荷、高粒子源之潔淨室的創新回風系統-風機乾盤管
冷卻機組應用
張振光、胡石政 1,*、林迪、林成彥、陳彥志 1台北科大/潔淨技術中心
潔淨科技期刊:26期 |
| 潔淨室為產生均一化的溫度分佈和稀釋污染源的生產環境，除非是特別需求，大多採用非單一方向流潔淨室系統，但機台本身產生的熱能及製造生產所產生的微粒，因熱浮力上升而與FFU 向下送的氣流衝突擴散使製程污染威脅性提升。為解決此問題，本研究開發獨特的在地化的氣流分佈系統(Local Balance)，來維持潔淨室內清淨度且有效的處理機台所產生的熱負荷，此獨特的在地化的氣流分佈系統有別於傳統一般業界習以為常的設計，將風車 (Fan)與乾盤管(Dry Coil)結合，吾人稱之 FDCU (Fan Dry Coil Unit)，配置於機台上方的天花板上，FDCU已被證實可有效將機台所產出的污染物排除、有效移除熱負荷，提供高發熱及高產塵機台一個良好的回風路徑。關鍵字：FDCU、廠房可用面積、供風層壓力變化、熱移除 ...(詳全文) |
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化學濾網開發與其吸附劑性能探討
康育豪、黃倩芸、陳幸婷 工業技術研究院 能源與環境研究所 研究員
潔淨科技期刊:23期 |
| 半導體產業已成為國內產值最高之高科技產業，隨著此項產業技術的快速升級及元件尺寸細小化，同時產品
元件的品質要求愈來愈嚴苛，當製程技術進來奈米等級(〈90nm)之後，環境空降分子污染物(Airborne Molecular Contaminants,AMCs)，
已成為製程良率之主要關鍵因素。為了有效控致AMC污染物，減少AMC污染源與濃度值，(詳全文) |
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