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收录109/1/17、2/21洁净技术研讨会,讲师演讲内容。
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因应近期新型冠状病毒肺炎疫情,本会编辑部特别撰写本篇口罩小知识,期望读者能在此波疫情中了解正确的知识,并做好相关防护措施。
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在面板产业裡,由于产品面积大,同时涂布光阻的设备又多为半开放式,因此,在黄光区往往有着 刺鼻的異味,往往是被认为正常的事。本文介绍,当想就这些異味进行处理时,提供一个可行的思维方 向,以供业界參考。
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在签订京都协定后,欧盟承诺在 2020 年达到减少 20%之二氧化碳排放量。而为了达成此一目标,欧 盟地区使用之电力产品之耗电量必须全面的控制。
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ISO 16890为新的过滤器测试和评估标准,已在2016 年底正式公布,欧洲地区经过18个月过渡期后取代了EN 779,而美国也在考虑未来是否要废除ASHRAE 52.2测试标准….
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摘要
空气过濾器广泛应用于通风、空调及工业应用,不同的空气品质需求须采用不同等级的过濾器,本文列举国际间常用的规范,如美国的ASHRAE 52.1、ASHRAE 52.2、IEST-RP,欧洲的EN779 :2012、 EN1882:2009 等,且针对欧洲规范进行简介說明。
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摘要
相对于一般传统工业洁净室,生医产业在操作条件上均有相当程度的不同。
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过去的十五年里前开门晶圆盒系统(FOUP(Front Opening Unified Pod)/LPU(Load-port Unit))已被多数十二吋半导体厂所采用且已被证明其可提供一无(或非常少)粒子污染之环境,唯其未能提供无(或非常少)
水,氧或气态分子之制造环境。然而晶圆在晶圆传送盒门开启后,于微环境内待转入制程的腔体内过程中亦非常容易受到污染。
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亲爱的伙伴们,
为响应环保及学术阐扬,本会将于2019年10月起另发行电子期刊。
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