【最新话题】TCTA014：能效全氟化合物电热水洗式局部尾气处理系统开发

本文介绍厂内节能电热水洗式局部尾气处理设备，利用高温750℃加热裂解化学气相沉积、干蚀刻制程所产生的气体，再以水洗方式吸收受高温裂解的废气，经水雾吸收、洗涤及降低温度后以废气管收集导入厂务系统的中央洗涤塔，再经厂务的湿式洗涤塔处理后排放到大气中，借以达到节能减碳的效果。

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