【最新話題】TCTA006: 面板廠黃光區異味處理概觀介紹

在面板產業裡,由於產品面積大,同時塗布光阻的設備又多為半開放式,因此,在黃光區往往有著 刺鼻的異味,往往是被認為正常的事。本文介紹,當想就這些異味進行處理時,提供一個可行的思維方 向,以供業界參考。

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