【潔淨話題】TCTA ISSUE 3:空氣過濾器測試方法及一般通風用空氣過濾器能效分級之簡要回顧

摘要

空氣過濾器廣泛應用於通風、空調及工業應用,不同的空氣品質需求須採用不同等級的過濾器,本 文列舉國際間常用的規範,如美國的 ASHRAE 52.1、ASHRAE 52.2、IEST-RP,歐洲的 EN779:2012、 EN1882:2009 等,且針對歐洲規範進行簡介說明。

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【潔淨話題】TCTA ISSUE 1 :半導體廠晶圓先進製程之關鍵技術-晶圓盒開門時的濕度控制

過去的十五年裏前開門晶圓盒系統(FOUP(Front Opening Unified Pod)/LPU(Load-port Unit))已被多数十二吋半導體廠所採用且已被証明其可提供一無(或非常少)粒子污染之環境,唯其未能提供無(或非常少)
水,氧或氣態分子之製造環境。然而晶圓在晶圓傳送盒門開啟後,於微環境內待轉入製程的腔體內過程中亦非常容易受到汙染。

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